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產品型號

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得**鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過CE認證。

技術參數

1、電源：220V

2、總功率：<2000W（包括真空泵）

3、真空室：?160mm×120mm

4、樣品臺：?50mm，且高度可調，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜

5、**均勻鍍膜：?45mm

產品規(guī)格

尺寸：400mm×300mm×400mm；重量：30kg

標準配件

1

金靶材

1個

2

進氣針閥

1個

3

保險絲

2個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材