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產(chǎn)品名稱

GPC-100A精確磨拋控制儀

產(chǎn)品型號

GPC-100A

主要特點(diǎn)

可嚴(yán)格控制被磨樣品表面的平行度和平面度，控制準(zhǔn)確度高。研磨過程中可搭配數(shù)顯測厚儀使用，隨時(shí)觀測樣品磨削量，尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨使用。

技術(shù)參數(shù)

1、載樣盤直徑：?103mm

2、載樣盤軸向行程：12mm

3、數(shù)顯表精度：0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力：0.1kg-2.1kg

5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g

6、樣品裝卡方式：真空吸附

7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、厚度≤12mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：外徑146mm，高266mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、真空泵

2、過濾瓶

3、底座

4、玻璃片