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Bhadra?立式

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拉普拉斯新能源科技股份有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

拉普拉斯

型號：

Bhadra?立式

關注度：

765

產(chǎn)品介紹

型號	Bhadra?立式LPCVD BHC200
功能	氮化硅/氧化硅/多晶硅（Poly-Si）/非晶硅（α-Si）薄膜沉積適用于功率半導體/襯底材料
重要參數(shù)	晶圓尺寸：8寸及以下晶圓載片量：125片/批 **加熱溫度：1050℃ 成膜種類：根據(jù)不同工藝要求工藝源可選配
裝卸片方式	立式垂直升降垂直真空密封系統(tǒng)
優(yōu)勢	先進的壓力控制技術五區(qū)高精度溫度場控制先進的顆?？刂萍夹g 先進微環(huán)境氧含量控制穩(wěn)定的傳輸控制能力

Bhadra?立式LPCVD BHC200

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