粉體行業(yè)在線展覽
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超高溫退火爐
直接聯(lián)系
拉普拉斯新能源科技股份有限公司
廣東
面議
拉普拉斯
超高溫退火爐
993
項(xiàng) 目 | 高溫退火激活爐 |
功 能 | ? 用于SiC、GaN等高溫退火活化工藝 ? 滿足各種真空、氣氛高溫退火的激活工藝 |
重要參數(shù) | ? **晶圓尺寸：滿足6寸以下晶圓工藝要求 ? **載片量：50片/批 ? **加熱溫度：2000℃ |
裝卸片方式 | ? 立式垂直升降 ? 立式真空密封系統(tǒng) |
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超高溫退火爐
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拉普拉斯低壓水平硼擴(kuò)散設(shè)備 LRB430
拉普拉斯低壓水平磷擴(kuò)散設(shè)備 LRP430
