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襯底類型

透明或半透明襯底

光源

氙燈

光源壽命

>8760H

光譜范圍

300-1000nm

入射角

70度（40度-90度 每5度可調(diào)）

光斑直徑

100x120μm(Min80x100um)

測(cè)量時(shí)間（不對(duì)焦）

<2S(單層模型),<約6s（多層模型）

膜厚測(cè)量范圍（單層膜）

1nm-15μm

對(duì)焦

自動(dòng)訊號(hào)對(duì)焦

膜厚測(cè)量精度

<0.5nm(基于標(biāo)片)

折射率測(cè)量精度

<0.005(基于標(biāo)片)

厚度重復(fù)性精度：

<0.5A（1 sigma 標(biāo)準(zhǔn)差,10times）（基于標(biāo)準(zhǔn)片）

折射率重復(fù)性精度：

<0.0005（1 sigma標(biāo)準(zhǔn)差,10times）（基于標(biāo)準(zhǔn)片）

可測(cè)試膜層數(shù)量

≥2層

標(biāo)片數(shù)量

2片