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Radiation 全光譜反射儀

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質(zhì)朋儀器貿(mào)易（上海）有限公司

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產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

質(zhì)朋儀器

型號(hào)：

Radiation 全光譜反射儀

關(guān)注度：

469

產(chǎn)品介紹

項(xiàng)目	內(nèi)容	規(guī)格概述
1	波長(zhǎng)范圍	420~1000nm
2	Resolution	1 nm
3	膜厚測(cè)定范圍	250 A- 20 um
4	膜厚測(cè)定精度	T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer
5	膜厚測(cè)定重復(fù)性	SR Thickness repeatability: ≤ 1? (1?) (at 1100?, SiO2/Si)
6	測(cè)定光源	鹵素?zé)襞?/span>(含 Constant Current Power Supply)
7	透明基板里面反射補(bǔ)正機(jī)能	包括透明基板背后反射的修正(軟件)
8	測(cè)定SPOT徑(Spot Size )	50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio
9	Tact time	2S（測(cè)試1S+分析1S）

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Radiation 全光譜反射儀

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