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全自動晶圓激光打標(biāo)機(jī) HDZ-WAF600

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大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

大族激光

型號：

全自動晶圓激光打標(biāo)機(jī) HDZ-WAF600

關(guān)注度：

438

產(chǎn)品介紹

打標(biāo)及CCD系統(tǒng):

1、結(jié)合二維運(yùn)動平臺、激光打標(biāo)系統(tǒng)、上下位置攝像系統(tǒng)。
2、二維運(yùn)動平臺集成直線電機(jī)。
3、上位攝像頭根據(jù)晶圓特征點(diǎn)提供位置數(shù)據(jù)信息。下面的檢查攝像系統(tǒng)將測量真實(shí)的標(biāo)記位置。
4、系統(tǒng)根據(jù)以上所述2臺相機(jī)測量數(shù)據(jù)判斷打標(biāo)位置偏移是否在公差范圍內(nèi)。

規(guī)格：

1	控制系統(tǒng)		光學(xué)掃描儀+控制卡+WIN7
2	激光	波長	355nm
3		功率	3W
4		Fθ 鏡	Box：50*50mm (取決于達(dá)標(biāo)效果)
5		冷卻方式	水冷
6	2D平臺	行程	400x300mm（線性平臺）
7	2D平臺	重復(fù)定位精度	±0.002mm
8	*小線高		0.05mm
9	加工產(chǎn)品尺寸		6英寸 8英寸 12英寸晶元
10	設(shè)備重復(fù)加工精度		±0.05mm
11	定位精度		±0.05mm
12	支持的文件格式		Dxf, plt etc
13	電力需求		單相 220V

產(chǎn)品咨詢

全自動晶圓激光打標(biāo)機(jī) HDZ-WAF600

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