粉體行業(yè)在線展覽
ICP-RIE 等離子體刻蝕機
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重慶眺望
ICP-RIE 等離子體刻蝕機
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納米結(jié)構低損傷刻蝕
由于等離子的能量分布低,從而能實現(xiàn)低損傷刻蝕和納米結(jié)構刻蝕。
簡單高速率刻蝕
MEMS制造工藝中,Si材料光滑側(cè)壁的高速高選擇比刻蝕,可以很容易的通過室溫或低溫工藝實現(xiàn)。
內(nèi)置ICP等離子源
平板三螺旋天線(PTSA)等離子源是SENTECH獨有的高端等離子工藝系統(tǒng)。PTSA能產(chǎn)生高密度低能量分布的等離子體。在多種材料刻蝕工藝中都能實現(xiàn)高效率耦合及穩(wěn)定起輝 。動態(tài)溫控
襯底溫度設定和工藝過程中的穩(wěn)定性是影響刻蝕工藝質(zhì)量的重要因素。ICP襯底電極結(jié)合背面氦氣冷卻和溫度傳感器進行動態(tài)溫控,工藝溫度范圍為-150°C 至 +400°C:
SENTECH面向高靈活性和高產(chǎn)能的刻蝕和沉積系統(tǒng)提供各種級別的自動化裝置,從預真空系統(tǒng)到**6端口的多工藝腔室裝置。5I500可以作為多腔室工藝模塊。
定制5臺機連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風循環(huán)烘箱CT-C系列
自動拆包機
酒精回收塔
自動吸盤振動器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)