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高真空有機及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZ350

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中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號

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品牌：

沈陽科學(xué)儀器

型號：

高真空有機及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZ350

關(guān)注度：

669

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品概述：
該設(shè)備主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)；真空測量系統(tǒng)；蒸發(fā)源；樣品加熱控溫；電控系統(tǒng)；配氣系統(tǒng)等部分組成。

設(shè)備用途：
熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi)，通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程?？稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜，廣泛應(yīng)用于物理，生物，化學(xué)，材料，電子等領(lǐng)域。蒸鍍薄膜種類：Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機物等。

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高真空有機及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZ350

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