粉體行業(yè)在線展覽
碳化硅晶體生長爐
面議
沈陽科學(xué)儀器
碳化硅晶體生長爐
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產(chǎn)品概述:
主要由爐室組件、上爐室組件、樣品支撐機(jī)構(gòu)、測溫窗傳動組件、真空獲得及測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、感應(yīng)加熱系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)等組成。要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計穩(wěn)定,運行平穩(wěn),且有多項安全防護(hù)設(shè)施,質(zhì)量流量及溫度控制精確,整個晶體生長過程由高可靠的可編程計算機(jī)控制器(PCC)控制,并可實現(xiàn)過程全自動(CCD)控制、信息記錄。
設(shè)備用途:
本設(shè)備要求采用感應(yīng)加熱方式,在惰性氣體(氬氣)環(huán)境下將石墨坩堝中的碳化硅粉末升華,沉積到碳化硅單晶仔晶上,即物理氣相沉積法(PVT法)生長6″碳化硅單晶。
高真空釬焊爐設(shè)備--QHL550
小型超高真空退火爐
大型高真空退火爐
碳化硅晶體生長爐
導(dǎo)模法藍(lán)寶石晶體生長爐
泡生法藍(lán)寶石晶體生長爐
雙側(cè)無油渦旋泵
渦旋干式真空泵
螺桿干式真空泵JLG-1100A
羅茨干式真空泵GH-80A
金屬有機(jī)源氣相沉積系統(tǒng)--MOCVD
高真空硬碳膜制備系統(tǒng)--FHL600