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金屬有機(jī)源氣相沉積系統(tǒng)--MOCVD

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中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

沈陽科學(xué)儀器

型號：

金屬有機(jī)源氣相沉積系統(tǒng)--MOCVD

關(guān)注度：

697

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品概述：
MOCVD系統(tǒng)主要由真空室反應(yīng)系統(tǒng)、氣體（載氣與氣相有機(jī)源）輸運(yùn)控制系統(tǒng)、有機(jī)源蒸發(fā)輸運(yùn)控制系統(tǒng)、電源控制系統(tǒng)、尾氣處理及安全保護(hù)報警系統(tǒng)組成。

設(shè)備用途：
MOCVD系統(tǒng)作為化合物半導(dǎo)體、超導(dǎo)等薄膜材料研究和生產(chǎn)的手段，特別是作為工業(yè)化生產(chǎn)的設(shè)備，有著其它半導(dǎo)體設(shè)備無法替代的優(yōu)點(diǎn)。它的高質(zhì)量、穩(wěn)定性、重復(fù)性及多功能性越來越為人們所重視。它是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段，如激光器、發(fā)光二極管、高效太陽能電池、光電陰極等，是光電子等產(chǎn)業(yè)不可缺少的設(shè)備。

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金屬有機(jī)源氣相沉積系統(tǒng)--MOCVD

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