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光學(xué)薄膜等離子清洗機(jī)：誠(chéng)峰智造

全自動(dòng)On-Line式AP等離子處理系統(tǒng)CRF-APO-500W-XN

名稱（Name）

全自動(dòng)On-Line式AP等離子處理系統(tǒng)

型號(hào)（Model）

CRF-APO-500W-XN

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz

等離子功率（Plasma power）

10KW（Max）/40KHz（Option）

有效處理寬幅（Processing width）

120mm-1200mm（Option）

有效處理高度（Processing   height）

3mm~8mm（Max）

處理速度（Processing speed）

0-8m/min

工作氣體（Gas）

N2/N2+CDA

產(chǎn)品特點(diǎn)： 內(nèi)置式冷卻系統(tǒng)，提高和保證設(shè)備的使用壽命和性能；

靈活On-Line安裝方式，電子和離子的能量可達(dá)10eV以上，

材料批處理的效率可高于低氣壓輝光放電裝置效率10倍以上。

應(yīng)用范圍：應(yīng)用于FPC＆PCB表面處理，復(fù)合型材料，玻璃，ITO等行業(yè)領(lǐng)域的表面處理。

半導(dǎo)體封裝行業(yè)，包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝，通常會(huì)用到銅材質(zhì)的引線框架，為了提高鍵合和封塑的可靠性，一般會(huì)把銅支架經(jīng)過(guò)幾分鐘的等離子清洗機(jī)處理，來(lái)清除表面的有機(jī)物、污染物，增加其表面的可焊性和粘接性。

　　有的時(shí)候我們會(huì)發(fā)現(xiàn)，銅支架在等離子清洗機(jī)的真空環(huán)境下如果處理不當(dāng)，容易出現(xiàn)表面變色和發(fā)黑，嚴(yán)重的甚至是出現(xiàn)燒板等現(xiàn)象。難道是因?yàn)榍惑w里面的空氣沒(méi)有抽干凈嗎?殘余空氣中氧分子被激發(fā)，形成的氧等離子體與銅表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而形成氧化銅的結(jié)果?原因真的就這么簡(jiǎn)單嗎?誠(chéng)峰智造資深工程師結(jié)合多年的等離子清洗銅支架的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，與大家一起分析一下。

　　1 等離子清洗機(jī)真空度影響銅支架清洗效果和變色

　　等離子清洗機(jī)真空度關(guān)聯(lián)因素包括真空腔體漏率、背底真空、真空泵的抽速和工藝氣體的進(jìn)氣流量等。真空泵抽速越快，背底真空值越低，說(shuō)明里面殘留的空氣就越少，銅支架與空氣里面的氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會(huì)就會(huì)越少;當(dāng)工藝氣體進(jìn)入，形成的等離子體可以充分地與銅支架發(fā)生反應(yīng)，沒(méi)有被激發(fā)的工藝氣體可以把反應(yīng)物輕松帶走，銅支架清洗效果會(huì)好，不容易變色。

　　2 等離子清洗機(jī)電源功率對(duì)銅支架清洗效果和變色的影響

　　等離子清洗機(jī)電源功率關(guān)聯(lián)因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大，等離子體能量就越高，對(duì)銅支架的表面轟擊力就越強(qiáng);同等功率的情況下，處理的銅支架越少，單位功率密度就會(huì)越大，清洗的效果就會(huì)越好，但有可能會(huì)造成能量過(guò)大，板面變色或者燒板。

　　等離子清洗機(jī)的等離子電場(chǎng)分布關(guān)聯(lián)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和銅支架的擺放位置等相關(guān)。不同處理材料、工藝需要以及產(chǎn)能要求，對(duì)電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)是不一樣的;因此氣體流向會(huì)形成一個(gè)氣場(chǎng)，對(duì)等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)、均勻性都會(huì)有影響;銅支架的擺放位置，會(huì)影響到電場(chǎng)和氣場(chǎng)特性，導(dǎo)致能量分配不均衡，局部等離子密度過(guò)大而燒板。

實(shí)踐證明了等離子清洗機(jī)的處理時(shí)間、電源頻率、包括載具類(lèi)型等都會(huì)對(duì)銅支架的處理效果和變色也是有影響的。

說(shuō)到等離子處理設(shè)備，廢氣處理用的等離子光解凈化器、金屬焊接切割用的等離子弧焊機(jī)、產(chǎn)品材料表面處理用的等離子清洗機(jī)都是屬于等離子處理設(shè)備的一種，你對(duì)等離子清洗機(jī)處理有所了解嗎?有沒(méi)有廢氣廢水產(chǎn)生呢?說(shuō)其更環(huán)保和安全有沒(méi)有道理?

　　等離子清洗機(jī)是專(zhuān)門(mén)用于材料和產(chǎn)品的表面處理及改性處理的等離子處理設(shè)備，氣體輝光或亞輝光放電的方式產(chǎn)生等離子體，可實(shí)現(xiàn)不同的處理目的。通常所常見(jiàn)的等離子清洗機(jī)有兩種，一種是低壓真空等離子表面處理設(shè)備，一種是常壓大氣等離子表面處理設(shè)備，下圖分別為真空和大氣型的等離子清洗機(jī)。

　　與濕法的化學(xué)處理工藝不同，等離子清洗機(jī)處理是一種干式處理工藝，如何理解呢?簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，等離子清洗機(jī)所使用的通常都是氣體，且為常見(jiàn)的氧氣、氮?dú)?、壓縮空氣等氣體，不需要使用有機(jī)化學(xué)溶液，而且處理所產(chǎn)生的大多也是二氧化碳等無(wú)害氣體，正因反應(yīng)物和產(chǎn)生物都為氣體，也就不需要進(jìn)行烘干、廢水處理，因此說(shuō)等離子清洗機(jī)處理沒(méi)有廢氣廢水是可以實(shí)現(xiàn)的。

　　等離子清洗機(jī)處理更加環(huán)保安全?從反應(yīng)物和產(chǎn)生物來(lái)看，確實(shí)更加環(huán)保和節(jié)約能源，而且從工藝來(lái)看，工藝也更加簡(jiǎn)單安全，另外就日常處理成本來(lái)看，僅需少量用電和耗材維保費(fèi)用。