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量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司

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產(chǎn)品介紹

量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺
型號	SA-6/SA-8/SA-12	外形	1500（長）1700（寬）1100(高)
重量	1700kg	電力需求/功率	220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規(guī)格參數(shù)	能夠測試的晶圓直徑	6,”8”,12”
	晶圓厚度	300≤T≤1000um（標(biāo)準(zhǔn)） 300≧T(薄片機(jī)型）
	晶圓厚度偏差	50um
	Index time	300ms(標(biāo)準(zhǔn)速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動(dòng)的時(shí)間)
	Chuck 具備5軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)	（X/Y/Z/theta/F）
	X-Y軸行程	380mm, **速度300mm/s, 分辨率0.1um
	XY全行程機(jī)械定位精度	±2um（環(huán)境溫度在±1°以內(nèi)波動(dòng)時(shí)）
	XY**速度	300mm/s
	Chuck平面度	≤5 um
	Z軸行程	37mm，探針分離高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
	Z軸移動(dòng)解析度	0.1um
	Z軸定位精度	±2um
	Theta 軸	±5°/0.0001°
	光柵尺	0.1um光柵尺
	預(yù)對位平臺	光學(xué)原理檢測，平邊或者notch ±1°定位精度
	晶圓機(jī)械手	陶瓷機(jī)械手，cassette *1
	晶圓裝載單元	一個(gè)升降單元，預(yù)對位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口
	自動(dòng)對位系統(tǒng)	自動(dòng)水平掃描、自動(dòng)**測試點(diǎn)定位、自動(dòng)測試中心定位
	自動(dòng)上下片系統(tǒng)	料盒安全保護(hù)、晶圓定位邊預(yù)對準(zhǔn)
	精確對位單元	pattern matching
	位移傳感器	采用靜電容傳感器，分辨率 2um （option)
	照明	同軸鹵素?zé)粽彰骰?/span>LED光源
	視場	低倍情況：4.93.6mm 中倍情況：10.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm
	PC配置	I5CPU，4G內(nèi)存，128G固態(tài)硬盤等
	LCD 顯示器	對位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文
	鍵盤	單元大小 15*15mm, 46 字母數(shù)字
	報(bào)警器(三色燈)	紅，黃，綠
	操作場地要求	2200mmX2200mm
	操作界面	Windows中文操作界面，中文MAPING動(dòng)態(tài)顯示
	標(biāo)記	上下標(biāo)記，標(biāo)記可以實(shí)時(shí)或者離線標(biāo)記，標(biāo)記耗時(shí)15~300ms，采用ink或者Laser
	可以采用的cassette形式	FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可選附件	自動(dòng)磨針臺	可以兼容高頻測試頭	晶圓ID 識別功能
	可以匹配自動(dòng)晶圓盒取放設(shè)備（AGV or OHT）		直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務(wù)器通訊
	FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺內(nèi)部可以達(dá)到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測試機(jī)接口

特點(diǎn)
超高的測試精度和超快測試速度			自動(dòng)alignment/找晶圓中心/測量diesize
支持單點(diǎn)測試和連續(xù)測試			功能豐富的測試軟件
便捷的儀器接入			可升級自動(dòng)wafer厚度測量和ID讀卡

產(chǎn)品咨詢

量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺

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