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綜合型分析探針臺(tái)

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司

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產(chǎn)品介紹

綜合型分析探針臺(tái)
型號(hào) SH-6 SH-8 SH-12
外形 820mm長(zhǎng)*720mm寬*890mm高 960mm長(zhǎng)*850mm寬*900mm高 1300mm長(zhǎng)*920mm寬*920mm高
重量 170公斤 約230公斤 約300公斤
電力需求 220VC,50~60Hz
樣品臺(tái) 尺寸 6英寸,可360度旋轉(zhuǎn) 8英寸,可360度旋轉(zhuǎn) 12英寸,可360度旋轉(zhuǎn)
行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
移動(dòng)精度 1um
樣品固定方式 真空吸附
背電極測(cè)試功能 有,樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺(tái) 規(guī)格 U型平臺(tái),*多可放置6個(gè)針座 U型平臺(tái),*多可放置10個(gè)針座 U型平臺(tái),*多可放置12個(gè)針座
行程&調(diào)節(jié)方式 平臺(tái)可以快速升降,行程 6mm,并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,升降精度1um
光學(xué)特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
顯微鏡移動(dòng)精度 1um
切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30    
放大倍數(shù) 20~4000X
鏡頭規(guī)格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
CCD像素 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)
點(diǎn)針規(guī)格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
機(jī)械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏電精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱時(shí))
接口形式 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口
應(yīng)用方向 晶圓測(cè)試,光電器件測(cè)試,PCB/封裝器件測(cè)試,射頻測(cè)試,高壓/大電流測(cè)試等
可選附件 卡盤(pán)快速拉出裝置 加熱臺(tái) 光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件
顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) 高低溫樣品臺(tái) 射頻測(cè)試附件
顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 屏蔽箱 有源探頭
激光微加工 轉(zhuǎn)接頭 低電流/電容測(cè)試
探針卡夾具 防震臺(tái) 兼容積分球測(cè)試選件
顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 鍍金卡盤(pán) 光纖夾具耦合測(cè)試選件
液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 同軸叁軸卡盤(pán) 封裝器件夾具
高壓/大電流測(cè)試套裝 樣品臺(tái)快速升降,微調(diào)升降裝置選件 PCB/封裝夾具測(cè)試選件
帶真空底座的活動(dòng)Chuck 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 特殊定制

特點(diǎn)
穩(wěn)定的結(jié)構(gòu) 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)
針座平臺(tái)可快速升降和微調(diào),適合針卡測(cè)試 大手柄驅(qū)動(dòng),操作舒適,無(wú)回程差設(shè)計(jì)
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng) 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試
高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試
**可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試


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