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高低溫真空探針臺(tái)

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司

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產(chǎn)品介紹

高低溫真空探針臺(tái)
型號(hào) SCG-O-2 SCG-O-4 SCG--C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 170KG 190KG 290KG
電力需求 AC220V,50~60HZ
樣品臺(tái) 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
樣品固定方式 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片
樣品臺(tái)移動(dòng) 固定的樣品臺(tái)
真空度 10^-10torr**真空
光學(xué)特性 顯微鏡行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍數(shù) 變焦:7:1分辨率4μm (放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡(20X~1000X
真空腔觀察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)
溫控規(guī)格 制冷方式 液氮/液氦 制冷壓縮機(jī)
控制方式 開(kāi)循環(huán)手動(dòng)/自動(dòng)冷媒流量控制 閉循環(huán)自動(dòng)控制
控溫范圍 77K~450K/4.2K~450K 4.2K~450K
控溫分辨率 0.001K
溫度穩(wěn)定性 4.2K   ±0.2K                  77K   ±0.1K
373K   ±0.08K                  473K  ±0.1K
      823K   ±0.2K(可選)            973K  ±1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時(shí)間 90min 150min
8K到常溫升溫時(shí)間 90min 90min
常溫開(kāi)始的升溫時(shí)間  100        150           200
30min        50min           80min
加熱電源  LVDC 低壓直流
傳感器 硅二極管
傳感器數(shù)量 樣品臺(tái),防輻射屏,探針臂各一個(gè)
功率 50W/100W/500W/1000W
點(diǎn)針規(guī)格 探針數(shù)量 2個(gè)/4個(gè)/6個(gè)
探針調(diào)節(jié) 真空波紋管外部調(diào)節(jié),手動(dòng)控制
點(diǎn)針精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏電精度   10pA/100fA
接口形式 三軸/SMA/K/光纖接口
可選附件 防震桌
多級(jí)壓縮制冷機(jī)
機(jī)械泵/分子泵組/離子泵
射頻部件
Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
超高溫升級(jí)選件
超高真空升級(jí)選件
客戶特殊定制
應(yīng)用方向 高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試,材料測(cè)試,霍爾測(cè)試,電磁輸運(yùn)特性等

特點(diǎn)
可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試(4.2K~450K 可升級(jí)加載磁場(chǎng)
防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性更好 支持光纖光譜特性測(cè)試
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng) 器件的高頻特性(支持**67GHz頻率)
探針熱沉設(shè)計(jì) LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試
自動(dòng)流量控制 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試


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高低溫真空探針臺(tái)

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