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>CVD石墨烯生長爐

CVD石墨烯生長爐

CVD石墨烯生長爐

直接聯(lián)系

鄭州恒通爐業(yè)有限公司

河南

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

鄭州恒通

型號:

CVD石墨烯生長爐

關(guān)注度:

474

產(chǎn)品介紹

CVD石墨烯生長爐專門針對于用在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、使用時把金屬箔附在內(nèi)管上。其**工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門針對于用CVD化學(xué)氣相沉積方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。

 

石墨烯生長爐由HTTF1200真空管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ,**溫度可以達(dá)到1200,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 

石墨烯生長爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)(化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)),是專門為在金屬箔(像銅箔、鋁箔等)上生長薄膜而設(shè)計,廣泛應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究上,特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。

 

HTTF-1200真空管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點。

真空管式爐軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PVSV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。

 

產(chǎn)品名稱

石墨烯生長爐(納米管生長爐)

產(chǎn)品型號

HTTF-1200-CVD

管式爐

加熱區(qū)長度

440mm

恒溫區(qū)長度

150 (+/-1 )

工作溫度

1100℃(此溫度為長期加熱溫度)

**溫度

1200

爐管尺寸

Φ60×1440mm

等離子射頻電源

輸出功率

500W    ± 1% . 

射頻頻率

13.56 MHz    ±0.005% .

反射功率

**約200W 

阻抗匹配

自動

真空泵機組(雙極旋片泵)

真空度

10-3torr

波紋管

KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連.

質(zhì)量流量計

四通道控制

精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動控制、 一個混氣罐、底部裝有泄廢液口

MFC 1范圍

0~100 sccm 

MFC 23

0~500 sccm  

進(jìn)氣接口

1/4NPS

出氣接口

1/4NPS

水冷系統(tǒng)

水冷法蘭要求

水流量 >= 10L/M ,配有專業(yè)水冷機組

 

石墨烯生長爐標(biāo)準(zhǔn)配件:

質(zhì)子混氣系統(tǒng)1臺、雙旋機械泵1臺、水冷系統(tǒng)1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對、高溫手套1副、剛玉坩堝2個、說明書1.


產(chǎn)品咨詢

CVD石墨烯生長爐

CVD石墨烯生長爐

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CVD石墨烯生長爐 - 474
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