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水平式長晶爐

直接聯(lián)系

沈陽中科漢達科技有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

中科漢達

型號：

水平式長晶爐

關(guān)注度：

137

產(chǎn)品介紹

HVPE生長系統(tǒng)是自主研發(fā)的一臺功能強大，耐用，可靠的氣相外延生長系統(tǒng)，適用于大尺寸、高質(zhì)量商業(yè)化GaN的同質(zhì)/異質(zhì)外延生產(chǎn)。內(nèi)置新研發(fā)的控制系統(tǒng)和多溫區(qū)加熱系統(tǒng)，支持配方功能，方便工藝參數(shù)調(diào)用及儲存，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，實用性強，能夠滿足大規(guī)模體塊GaN的商業(yè)化生產(chǎn)需求。

技術(shù)參數(shù)
生長工藝	HVPE法
產(chǎn)品類型	非標(biāo)定制
加熱方式	電阻式加熱/感應(yīng)式加熱
**溫度	1100℃
恒溫區(qū)尺寸	100mm
控制方式	PLC集成控制
系統(tǒng)真空檢漏漏率	≤5.0×10-7 Pa.l/S
冷卻方式	循環(huán)水路系統(tǒng)

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水平式長晶爐

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