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品牌展臺(tái)：賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司

產(chǎn)品

高溫退火爐

直接聯(lián)系

賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

賽瑞達(dá)

型號(hào)：

高溫退火爐

關(guān)注度：

438

產(chǎn)品介紹

主要適用于SiC/GaN等各類器件的高溫退火活化工藝。

設(shè)備特點(diǎn)

◎ 型號(hào):Activate 150

◎ 工藝溫度:1800℃~2050℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:1*10-3mbar

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎全自動(dòng)化系統(tǒng)和MES服務(wù)

產(chǎn)品優(yōu)勢

◎ 高溫退火活化工藝時(shí)間約4小時(shí)

◎ 工藝室具備DCE自清洗功能

◎ 良好的溫度均勻性和厚度均勻性

產(chǎn)品咨詢

高溫退火爐

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高溫退火爐 - 438

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