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立式爐

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山東力冠微電子裝備有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號

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品牌：

山東力冠

型號：

立式爐

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產(chǎn)品介紹

該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的氧化、擴散、退火、合金等工藝。

氧化工藝：主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝。

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