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簡(jiǎn)介 ： 

1.適用于6/8英寸，導(dǎo)電/高純半絕緣型SIC晶體生長(zhǎng)。 2.適用于長(zhǎng)時(shí)間，高質(zhì)量，規(guī)模型晶體生長(zhǎng)。 3.擁有高精度的控溫、控壓能力，工藝性能優(yōu)良，設(shè)備一致性好，具有豐富的量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。 4.可選恒功率、恒電流、恒溫工作模式。 5.一鍵智能啟動(dòng)，減少人工干預(yù)，利于規(guī)?；a(chǎn)。 6.緊湊立體化的整機(jī)設(shè)計(jì)，方便布局，提高廠房利用率。 7.采用高精度蝶閥和質(zhì)量流量計(jì)控制爐內(nèi)長(zhǎng)晶壓力，提供穩(wěn)定的