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儀器簡(jiǎn)介：

應(yīng)用：

◆ 薄膜厚度、n值及k值的測(cè)量，可應(yīng)用于任何薄膜生長(zhǎng)或者鍍膜工藝的監(jiān)控。

技術(shù)參數(shù)：

Sopra公司是世界上*知名的橢偏儀設(shè)備供應(yīng)商，其高精度的橢偏儀在半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體（GaAs/SiC）、LCD及MEMS領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。目前，全世界有超過500臺(tái)的Sopra橢偏儀應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)。

主要特點(diǎn)：

◆ 高精度的薄膜測(cè)量（膜厚、n值、k值）；

◆ 全世界**家寬光譜橢偏儀技術(shù)的***；

◆ VLSI及其他的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)均由Sopra標(biāo)第；

◆ 強(qiáng)擴(kuò)展性：Fast UV VIS CCD 模式，高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。