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EM12是采用先進(jìn)的測量技術(shù)，針對中端精度需求的光伏太陽能電池研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的精致型多入射角激光橢偏儀。

EM12-PV用于測量絨面單晶硅或多晶硅太陽電池表面減反膜的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度，以及在632.8nm下折射率n和消光系數(shù)k。

EM12-PV融合多項量拓科技**技術(shù)，采用一體化樣品臺技術(shù)，兼容測量單晶和多晶太陽電池樣品。一鍵式多線程操作軟件，使得儀器操作簡單安全。

特點：

• 粗糙絨面納米薄膜的測量

  先進(jìn)的光能量增強(qiáng)技術(shù)、低噪聲的探測器件以及高信噪比的微弱信號處理方法，實現(xiàn)了對粗糙表面散射為主和極低反射率為特征的絨面太陽電池表面納米鍍層的檢測。

• 次納米量級的高靈敏度和準(zhǔn)確度

  國際先進(jìn)的采樣方法、穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實現(xiàn)并保證了高準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性，測量絨面減反膜的厚度精度優(yōu)于0.2nm。

• 1.6秒的快速測量

  國際水準(zhǔn)的儀器設(shè)計，在保證極高精度和準(zhǔn)確度的同時，可在1.6秒內(nèi)快速完成一次測量，可滿足快速多點檢測和批量檢測需求。

• 簡單方便安全的儀器操作

  一鍵式操作設(shè)計，用戶只需一個按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出，豐富的模型庫和材料庫也同時方便了用戶的高級操作需求。

應(yīng)用：

• EM12-PV適合于光伏領(lǐng)域中端精度要求的工藝研發(fā)和生產(chǎn)現(xiàn)場的質(zhì)量控制。
• EM12-PV可用于測量絨面單晶硅或多晶硅太陽電池表面上單層減反膜的厚度以及在632.8nm下的折射率n，典型納米膜層包括SiNx，ITO，TiO2，SiO2，A12O3，HfO2等，應(yīng)用領(lǐng)域包括晶體硅太陽電池、薄膜太陽電池等。
• EM12-PV也可用于測量光滑平面基底上的單層或雙層納米薄膜，包括膜層的厚度，以及在632.8nm下的折射率n和消光系數(shù)k。也可用于測量塊狀材料（包括，液體、金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等）在632.8nm下的折射率n和消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、微電子、平板顯示等。

技術(shù)指標(biāo)：

性能保證：

• 穩(wěn)定的He-Ne激光光源、先進(jìn)的采樣方法以及低噪聲探測技術(shù)，保證了穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度
• 一體化樣品臺技術(shù)，兼容單晶和多晶硅太陽電池樣品，輕松變換可實現(xiàn)準(zhǔn)確測量
• 高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)系統(tǒng)，保證了快速、高精度的樣品方位對準(zhǔn)
• 新型樣品調(diào)節(jié)技術(shù)，有效提高樣品定位精度，并節(jié)省操作時間
• 新型光電增強(qiáng)技術(shù)和獨特的噪聲處理方法，顯著降低生產(chǎn)現(xiàn)場噪聲的影響
• 一體化集成式儀器整體設(shè)計，保證了系統(tǒng)穩(wěn)定性，并節(jié)省空間
• 分立式的多入射角選擇，可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和**厚度的測量
• 一鍵式軟件設(shè)計以及豐富的物理模型庫和材料數(shù)據(jù)庫，方便用戶使用