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ES01-PV快速攝譜式自動(dòng)變角度光譜橢偏儀(光伏專用)

直接聯(lián)系

北京賽凡光電儀器有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

601

產(chǎn)品介紹

ES01-PV是針對(duì)光伏太陽(yáng)能電池研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的高性能光譜橢偏儀。

ES01-PV用于測(cè)量和分析光伏領(lǐng)域中多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)(如,厚度)和物理參數(shù)(如,折射率n、消光系數(shù)k),典型樣品包括:絨面單晶和多晶太陽(yáng)電池上的單層減反膜(如SiNx,SiO2,TiO2,Al2O3等)和多層減反膜(如,SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx  /Al2O3 等),以及薄膜太陽(yáng)電池中的多層納米薄膜。

特點(diǎn):

  • 粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測(cè)量

    先進(jìn)的光能量增強(qiáng)技術(shù)、高信噪比的探測(cè)技術(shù)以及高信噪比的微弱信號(hào)處理方法,實(shí)現(xiàn)了對(duì)粗糙表面散射為主和極低反射率為特征的絨面太陽(yáng)電池表面鍍層的高靈敏檢測(cè)。
  • 晶體硅多層減反膜檢測(cè)

    專門(mén)針對(duì)多層薄膜檢測(cè)而設(shè)計(jì),可滿足晶體硅太陽(yáng)能電池領(lǐng)域中的雙層膜,如(SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx  /Al2O3等)的檢測(cè)。
  • 秒級(jí)的快速測(cè)量

    國(guó)際先進(jìn)的快速橢偏采樣方法、一流的關(guān)鍵部件、自動(dòng)化的測(cè)量軟件,在保證高精度和準(zhǔn)確度的同時(shí),可在10秒內(nèi)快速完成一次測(cè)量。
  • 一鍵式儀器操作

    對(duì)于常規(guī)操作,只需鼠標(biāo)點(diǎn)擊一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的測(cè)量、建模、擬合和分析過(guò)程,豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶的高級(jí)操作需求。

應(yīng)用:

  • ES01-PV可用于測(cè)量絨面單晶或多晶硅太陽(yáng)電池表面上納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數(shù)k,包括:?jiǎn)螌訙p反膜(如, SiNx, TiO2,SiO2,A12O3等)、雙層納米薄膜(如,SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx  /Al2O3等),以及多層納米薄膜。
  • ES01-PV的應(yīng)用也覆蓋了傳統(tǒng)光譜橢偏儀所測(cè)量的光面基底上的單層和多層納米薄膜,典型應(yīng)用包括:半導(dǎo)體(如:介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等)、平板顯示(TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等)、功能性涂料:(增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層,以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等)、生物和化學(xué)工程(有機(jī)薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理、液體等)等。

技術(shù)指標(biāo):

項(xiàng)目
技術(shù)指標(biāo)
光譜范圍
240nm-930nm(絨面測(cè)量時(shí)為350-850nm)
單次測(cè)量時(shí)間
10s,取決于測(cè)量模式
膜厚測(cè)量重復(fù)性(1)
0.05nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
折射率精度(1)
1x10-3 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
入射角度
40°-90°自動(dòng)調(diào)節(jié)
光學(xué)結(jié)構(gòu)
PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度)
樣品臺(tái)尺寸
一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品
兼容125*125mm和156*156mm的太陽(yáng)能電池樣品
樣品方位調(diào)整
Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm
二維俯仰調(diào)節(jié):±4°
樣品對(duì)準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
軟件
多語(yǔ)言界面切換
太陽(yáng)能電池樣品預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
安全的權(quán)限管理模式(管理員、操作員)
•方便的材料數(shù)據(jù)庫(kù)以及多種色散模型庫(kù)
•豐富的模型數(shù)據(jù)庫(kù)

注:(1)測(cè)量重復(fù)性:是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

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