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EMPro-PV是針對(duì)光伏太陽(yáng)能電池高端研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的**型多入射角激光橢偏儀。

EMPro-PV用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面減反膜鍍層的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測(cè)量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度，以及在632.8nm下折射率n和消光系數(shù)k。

EMPro-PV融合多項(xiàng)量拓科技**技術(shù)，采用一體化樣品臺(tái)技術(shù)，兼容測(cè)量單晶和多晶太陽(yáng)電池樣品，并實(shí)現(xiàn)二者的輕松轉(zhuǎn)換。一鍵式多線程操作軟件，使得儀器操作簡(jiǎn)單安全。

特點(diǎn)：

• 粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測(cè)量

  先進(jìn)的光能量增強(qiáng)技術(shù)、低噪聲的探測(cè)器件以及高信噪比的微弱信號(hào)處理方法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)粗糙表面散射為主和極低反射率為特征的絨面太陽(yáng)電池表面鍍層的高靈敏檢測(cè)。

• 原子層量級(jí)的極高靈敏度和準(zhǔn)確度

  國(guó)際先進(jìn)的采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了極高的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性，測(cè)量絨面減反膜膜厚精度優(yōu)于0.03nm，折射率精度優(yōu)于0.0003。

• 百毫秒量級(jí)的快速測(cè)量

  國(guó)際水準(zhǔn)的儀器設(shè)計(jì)，在保證極高精度和準(zhǔn)確度的同時(shí)，可在幾百毫秒內(nèi)快速完成一次測(cè)量，可滿足快速多點(diǎn)檢測(cè)和批量檢測(cè)需求。

• 簡(jiǎn)單方便安全的儀器操作

  一鍵式操作設(shè)計(jì)，用戶只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測(cè)量和分析過(guò)程，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出，豐富的模型庫(kù)和材料庫(kù)也同時(shí)方便了用戶的高級(jí)操作需求。

應(yīng)用：

EMPro-PV適合于光伏領(lǐng)域中高精度要求的工藝研發(fā)和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的質(zhì)量控制。可用于測(cè)量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面上單層減反膜的厚度以及在632.8nm下的折射率n。典型納米膜層包括SiNx，ITO，TiO2，SiO2，A12O3，HfO2等。應(yīng)用領(lǐng)域包括晶體硅太陽(yáng)電池、薄膜太陽(yáng)電池等。

EMPro-PV也可用于測(cè)量光滑平面基底上鍍的納米單層膜或雙層膜，包括膜層的厚度，以及在632.8nm下的折射率n和消光系數(shù)k。也可用于測(cè)量塊狀材料（包括，液體、金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等）在632.8nm下的折射率n和消光系數(shù)k。應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體、微電子、平板顯示等。

技術(shù)指標(biāo)：

項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
儀器型號(hào)	EMPro-PV
版本號(hào)	31
激光波長(zhǎng)	632.8nm (He-Ne Laser)
膜厚測(cè)量重復(fù)性（1）	0.01nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
	0.03nm (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)
折射率精度（1）	1x10-4 (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
	3x10-4 (對(duì)于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層)
單次測(cè)量時(shí)間	與測(cè)量設(shè)置相關(guān)，典型0.6s
結(jié)構(gòu)	PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度）
激光光束直徑	1mm
入射角度	40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié)，步進(jìn)5°
樣品方位調(diào)整	一體化樣品臺(tái)輕松變換可測(cè)量單晶或多晶樣品；
	可測(cè)量156*156mm電池樣品上每個(gè)點(diǎn)
	Z軸高度調(diào)節(jié)：±6.5mm
	二維俯仰調(diào)節(jié)：±4°
	樣品對(duì)準(zhǔn)：光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
樣品臺(tái)尺寸	平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm
	兼容125*125mm和156*156mm的太陽(yáng)能電池樣品
**的膜層測(cè)量范圍	粗糙表面樣品：與絨面物理結(jié)構(gòu)及材料性質(zhì)相關(guān)
	光滑平面樣品：透明薄膜可達(dá)4000nm，吸收薄膜與材料性質(zhì)相關(guān)
**外形尺寸(長(zhǎng)x寬x高)	887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí))
儀器重量（凈重）	25Kg
選配件	水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái)
	真空吸附泵
軟件	ETEM軟件：
	l 中英文界面可選
	l 太陽(yáng)能電池樣品預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
	l 單角度測(cè)量/多角度測(cè)量操作和數(shù)據(jù)擬合
	l 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出
	l 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫(kù)支持

注：(1)測(cè)量重復(fù)性：是指對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測(cè)量25次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

性能保證：

• 高穩(wěn)定性的He-Ne激光光源、先進(jìn)的采樣方法以及低噪聲探測(cè)技術(shù)，保證了高穩(wěn)定性和高準(zhǔn)確度
• 一體化樣品臺(tái)技術(shù)，兼容單晶和多晶硅太陽(yáng)電池樣品，輕松變換可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量
• 高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直顯微和望遠(yuǎn)系統(tǒng)，保證了快速、高精度的樣品方位對(duì)準(zhǔn)
• 新型樣品調(diào)節(jié)技術(shù)，有效提高樣品定位精度，并節(jié)省操作時(shí)間
• 新型光電增強(qiáng)技術(shù)和獨(dú)特的噪聲處理方法，顯著降低生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)噪聲的影響
• 一體化集成式儀器整體設(shè)計(jì)，保證了系統(tǒng)穩(wěn)定性，并節(jié)省空間
• 分立式的多入射角選擇，可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和**厚度的測(cè)量
• 一鍵式軟件設(shè)計(jì)以及豐富的物理模型庫(kù)和材料數(shù)據(jù)庫(kù)，方便用戶使用