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●本設(shè)備在成都光學(xué)鍍膜機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)達(dá)基礎(chǔ)上，在核心部件、控制系統(tǒng)和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上吸收國際一流產(chǎn)品技術(shù)精髓，開發(fā)出surpass系列產(chǎn)品。本設(shè)備適用于高精密光通訊產(chǎn)品鍍制光學(xué)膜: 電學(xué)膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠（樹脂）件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜，能夠根據(jù)客戶需求定制。

●形式：φ650-3500mm，箱式一體機(jī)，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，一體機(jī)系統(tǒng)。

●真空系統(tǒng)：極限真空8X10-5Pa，主泵為復(fù)合分子泵低溫泵擴(kuò)散泵可選。

●真空測(cè)量：配三路數(shù)字復(fù)合真空計(jì)，均采用安全防爆金屬測(cè)量規(guī)。

●工件架系統(tǒng)：客戶需求定制，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào)，工件盤為球形和行星工件盤可選。

●烘烤系統(tǒng)：不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過沖不超過2℃。

●電子束蒸發(fā)源：E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)（E型）1-2套，主體有屏蔽罩，配置獨(dú)立高壓控制柜。

●旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源：電動(dòng)轉(zhuǎn)位和點(diǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)位，配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。

●電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源。（選配）

●膜厚測(cè)試系統(tǒng)：配瑞士inficon石英膜厚在線測(cè)量系統(tǒng)， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探頭。

●離子源輔助沉積系統(tǒng)：一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)）。