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成都真空設(shè)備半導(dǎo)體制程PVD沉積臺(tái)

CM-007

直接聯(lián)系

成都漢普升科技有限公司

四川成都

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

100-150萬(wàn)元

品牌：

超邁光電

型號(hào)：

CM-007

關(guān)注度：

416

產(chǎn)品介紹

●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進(jìn)行復(fù)合，用于制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體制程中關(guān)鍵工序的核心裝備，其技術(shù)長(zhǎng)期被美國(guó)、日本等國(guó)技術(shù)巨頭所壟斷，屬于國(guó)內(nèi)卡脖子裝備，也是制約國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義。

產(chǎn)品咨詢

成都真空設(shè)備半導(dǎo)體制程PVD沉積臺(tái)

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