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成都真空設(shè)備 surpass大口徑等離子刻蝕機

CM-014

直接聯(lián)系

成都漢普升科技有限公司

四川成都

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

100-150萬元

品牌：

超邁光電

型號：

CM-014

關(guān)注度：

355

產(chǎn)品介紹

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●本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體刻蝕，能夠兼容離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕功能，使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來進(jìn)行刻蝕，并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品，通過真空系統(tǒng)排出，特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。


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產(chǎn)品咨詢

成都真空設(shè)備 surpass大口徑等離子刻蝕機

CM-014

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