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普發(fā)真空HiPace® 80渦輪分子泵

直接聯(lián)系

普發(fā)真空技術(shù)（上海）有限公司

德國

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

1381

產(chǎn)品介紹

穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)（Robust Design）和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性軸承系統(tǒng)。
緊湊型結(jié)構(gòu)以滿足更小的物理空間安裝需求。
高氣流量和高抽速。
可任意角度安裝。
防護(hù)等級IP54符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求。
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工況。
SEMI S2 和 UL認(rèn)證。
完整的配件系統(tǒng)擴(kuò)展了潛在客戶的需求。
更長時(shí)間維護(hù)保養(yǎng)時(shí)間。
可現(xiàn)場更換軸承。

Bearing 軸承	Hybrid
Compression ratio for Ar 氬氣壓縮比	> 1 · 1011
Compression ratio for H2 氫氣壓縮比	1.4 · 105
Compression ratio for He 氦氣壓縮比	1.3 · 107
Compression ratio for N2 氮其壓縮比	> 1 · 1011
Cooling method， optional 冷卻方式，選擇性	Air/water
Cooling method， standard 冷卻方式，標(biāo)準(zhǔn)	Convection
Cooling water consumption 冷卻水耗量	75 l/h
Cooling water temperature 冷卻水溫度	5-25 °C \| 41-77 °F \| 278-298 K
Electronic drive unit 控制器	with TC 110
Flange (in) 法蘭（進(jìn)）	DN 63 ISO-K
Flange (out) 法蘭（出）	DN 16 ISO-KF / G 1/4"
Fore-vacuum max. for N2 氮?dú)?*前級真空	22 hPa \| 16.5 Torr \| 22 mbar
Gas throughput at full rotational speed for Ar 氬氣全轉(zhuǎn)速時(shí)的氣流量	0.54 hPa l/s \| 0.4 Torr l/s \| 0.54 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for H2 氫氣全轉(zhuǎn)速時(shí)的氣流量	15.3 hPa l/s \| 11.48 Torr l/s \| 15.3 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for He 氦氣全轉(zhuǎn)速時(shí)的氣流量	2.7 hPa l/s \| 2.02 Torr l/s \| 2.7 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for N2 氮?dú)馊D(zhuǎn)速時(shí)的氣流量	1.3 hPa l/s \| 0.98 Torr l/s \| 1.3 mbar l/s
Interfaces 接口	RS-485， Remote
Mounting orientation 安裝方向	in any orientation
Operating voltage 運(yùn)行電壓	24 (± 5 %) V DC
Permissible magnetic field max. 容許的**磁場	3.3 mT
Protection category 防腐等級	IP 54
Pumping speed for Ar 氬氣抽速	66 l/s
Pumping speed for H2 氫氣抽速	48 l/s
Pumping speed for He 氦氣抽速	58 l/s
Pumping speed for N2 氮?dú)獬樗?/span>	67 l/s
Rotation speed ± 2 % 旋轉(zhuǎn)速度 ± 2 %	90000 min-1
Rotation speed variable 可變旋轉(zhuǎn)速度	50-100 %
Run-up time 啟動時(shí)間	1.7 min
Sound pressure level 聲壓級	≤ 48 dB (A)
Ultimate pressure according to PNEUROP 根據(jù)PNEUROP的極限壓力	< 1 · 10-7 hPa \|< 7.5 · 10-8 Torr \|< 1 · 10-7 mbar
Venting connection 排氣連接件	G 1/8"
Weight 重量	2.4 kg \| 5.29 lb

Pfeiffer vacuum渦輪分子泵 Hipace80尺寸

Pfeiffer vacuum渦輪分子泵Hipace80抽速

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