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渦輪分子泵——真空泵中的***

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的**壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球**的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90，000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10^-11 mbar 的真空度。

**的真空解決方案 滿足**要求

普發(fā)真空擁有抽速介于10到2，700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。

我們關(guān)注客戶利益的核心

在整個(gè)生產(chǎn)工藝過程中，真空技術(shù)往往是成敗的關(guān)鍵因素。在各類生產(chǎn)應(yīng)用中，因批量故障或生產(chǎn)中斷而造成的費(fèi)用損失甚至可以高達(dá)上百萬元。因此采用性能穩(wěn)定可靠的部件顯得十分重要。如今，渦輪分子泵的工作時(shí)間已經(jīng)能達(dá)到 100，000 小時(shí)。這意味著產(chǎn)品能無間斷地運(yùn)行長(zhǎng)達(dá)11年的時(shí)間。在此期間，應(yīng)盡可能地避免因保養(yǎng)或服務(wù)導(dǎo)致的運(yùn)行中斷。普發(fā)真空渦輪分子泵具備擴(kuò)展的自診斷功能，能滿足該項(xiàng)需求。通過分析真空泵的相關(guān)技術(shù)數(shù)據(jù)，給維修保養(yǎng)工作帶來了極大的支持。因此，任何保養(yǎng)都可以提前進(jìn)行預(yù)測(cè)，用戶可以自主安排保養(yǎng)計(jì)劃。此外，真空泵油和軸承都可以在現(xiàn)場(chǎng)直接進(jìn)行更換，更大程度上保障了正常生產(chǎn)運(yùn)行。渦輪分子泵的集成控制器減少了對(duì)繁瑣、昂貴的布線需要。一流的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能源消耗降低到*少，同時(shí)還帶有多樣化的接口。真空泵具有IP54防護(hù)等級(jí)設(shè)計(jì)，符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求。緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能滿足更小的物理空間安裝需求。為將成本*小化，普發(fā)真空提供多樣化的控制器，供不同型號(hào)的泵使用。甚至泵體的重量也是重點(diǎn)考量的因素：抽速為 250 升/每秒的渦輪分子泵重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪分子泵的應(yīng)用范圍廣闊，不僅包括分析儀器、真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括真空鍍膜、研發(fā)和其他各類工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。

● 分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

● 半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）

● 光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

● 真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

● 真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

● 泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

● 科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

● 燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

系列

Hipace 10-800

抽速等級(jí)在10-800 L/S 的緊湊型球軸承或復(fù)合軸承渦輪分子泵

穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)

*小的空間安裝需求

高可靠性

尺寸

Hipace 1200-2300

抽速等級(jí)在1000-2000 L/S 的緊湊型復(fù)合軸承渦輪分子泵

高抽速

更大的氣流量

更快的啟動(dòng)時(shí)間

尺寸

Hipace 300-800M ， ATH 500 M

抽速等級(jí)在300-800 L/S 的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵

更大的氣流量

更低的運(yùn)行震動(dòng)

更低的能耗

尺寸

ATH 1600-3200 M

抽速等級(jí)在1400-2800 L/S 的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵

更好的前級(jí)泵兼容性

極高的氣流量

出色的穩(wěn)定性

尺寸