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108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的離子濺射儀，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。108auto離子濺射儀的樣品室直徑為120 mm，樣品臺(tái)的高度可以任意調(diào)節(jié)，同時(shí)還帶有高效的直流磁控濺射頭和獨(dú)立的真空控制系統(tǒng)，能充分滿足客戶的多種需求。

主要特性

• 自動(dòng)的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的導(dǎo)電噴鍍效果。

• 通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。

• 操作容易快捷，可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

• 在自動(dòng)模式下，可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程。可通過(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

• 通過(guò)使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過(guò)程。

• 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動(dòng)停止噴鍍過(guò)程。

• 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。

• 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。