Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

產品特點：

1、 熱塑化

2、 紫外固化

3、 熱壓與紫外壓印同時進行

4、 熱固化

5、氣墊軟壓技術(ACP)

6、Nanonex**技術

7、 **的整片基板納米壓印均勻性

8、高通量

9、低于10nm分辨率

10、亞1微米對準精度

11、快速工藝循環(huán)時間（小于60秒） 靈活性

12、4″， 6″， or 8″壓印面積可選擇各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印

13、方便用戶操作

14、基于超過12年、15代產品開發(fā)經驗的自動化壓印操作，Nanonex壓印系統(tǒng)經過大量實時實地驗證，質量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定

15、全自動納米壓印

規(guī)格參數：

1、熱塑壓印模塊

溫度范圍0～250oC

加熱速度>300oC/分鐘

制冷速度>150oC/分鐘

壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）

2、紫外固化模塊

200W窄帶紫外光源

365納米或395納米波長可選

全自動化控制

3、對準模塊

<1μm 3σ對準準確率

X， Y， Z， Theta平臺

分場光學和CCD相機

4、模版裝載功能

4″/5″/6″模版可用于標配納米壓印

5、系統(tǒng)

8”模板可升級

6、基板裝載

標配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板

6″和8″基板可選

各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基

7、板均可壓印

獨特**保護ACP技術可限

8、度保護基板和模板，特別對于象磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予限度保護。