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YAMATO雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

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柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司

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產(chǎn)品規(guī)格型號

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產(chǎn)品介紹

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。

特征

● 可變更電極構造提高等離子效果。

● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。

● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途

● 硅晶圓的灰化及蝕刻

● 基板表面污垢處理

● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理

● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗

● 自然氧化膜·有機物去除

● 界面活性處理

● 表面污染物去除

內(nèi)槽

規(guī)格

型號	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
電極	平行平板	2段電極（獨立）	平板（多目的）
反應氣體	聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）	約1000L/min	約1500L/min	1000 & 1500L/min
安全裝置	門檢測開關、聯(lián)鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等

管路連接圖

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