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Tucano是一種臺(tái)式等離子系統(tǒng)，專(zhuān)為表面清潔，改性和活化而設(shè)計(jì)。

系統(tǒng)特別設(shè)計(jì)用于等離子體表面處理包括光刻膠灰化， 有機(jī)物去除， 清洗， 活化， 改性， 沉積和刻蝕， 具有功能多， 易操作性強(qiáng)， 全自動(dòng)化無(wú)需調(diào)試， 可靠性高， 低成本等優(yōu)點(diǎn)， 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造， 微電子加工， 生命科學(xué)制造和前處理等。

用戶(hù)友好的圖形界面與高效的RF系統(tǒng)相結(jié)合，使Tucano成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡(jiǎn)單通用解決方案。

應(yīng)用程序示例

1.半導(dǎo)體制造

?光刻膠去除（剝離）及其殘留物（去除浮渣）。

?有機(jī)焚燒（灰化），各向同性去除有機(jī)聚合物（如聚酰胺等）和氧化硅/氮化物。

?引線(xiàn)鍵合前的清潔或表面改性（粘合劑廣告和芯片載體）

?各向同性蝕刻

2.光學(xué)和眼科

工業(yè)洗滌后的原子水平清洗和預(yù)處理，以提高防眩涂層的附著力，耐刮擦; 聚合層劃傷和防霧。

3.紡織工業(yè)

清潔和表面改性，以便在天然或合成纖維上染色或印花之前獲得親水表面。（僅用于研發(fā)目的，不適用于大規(guī)模生產(chǎn)）

4.生物醫(yī)藥

表面清潔和改性適用于以下應(yīng)用：

?植入裝置（增加潤(rùn)滑性，加快骨整合）

?不同材料（如注射器針頭，導(dǎo)管等）之間的粘接

?在典型的工業(yè)清潔循環(huán)后，從有機(jī)殘留物中進(jìn)行*終的超細(xì)原子級(jí)清潔

?接觸式和人工晶狀體。

?支架

?樣品瓶

?對(duì)敏感塑料材料進(jìn)行滅菌

5.精密機(jī)械

工業(yè)洗滌后在金屬和陶瓷表面的原子水平進(jìn)行清潔以改善可涂漆性或其他類(lèi)型的涂層（例如PVD）。

6.塑料工業(yè)

用于潤(rùn)濕性和不可潤(rùn)濕性的表面清潔和改性

?粘接，焊接或涂裝/印刷前的表面清潔

?噴漆，印刷前表面活化

?表面氟化，增強(qiáng)功能

?交聯(lián)和表面聚合

工作原理

Tucano采用先進(jìn)的PLC和LCD彩色觸摸屏顯示器實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。使用該系統(tǒng)，可以直接在系統(tǒng)組件上操作，或讓PLC根據(jù)用戶(hù)可編輯的配方執(zhí)行過(guò)程。通過(guò)使用質(zhì)量流量控制器（MFC）將一種或多種處理氣體引入處理室。RF射頻被引入腔室;與氣體分子相互作用，該信號(hào)產(chǎn)生等離子體。產(chǎn)生的等離子體提供作用于待處理的基板表面的單層的反應(yīng)性離子物質(zhì)。可以通過(guò)影響等離子體狀態(tài)的參數(shù)（氣體流量和頻率強(qiáng)度）來(lái)改變所得到的過(guò)程。

產(chǎn)品功能

臺(tái)式等離子系統(tǒng)，簡(jiǎn)單而通用

?*多可處理十種不同的可編輯配方

?一致結(jié)果的一致性

?數(shù)據(jù)記錄功能

?長(zhǎng)期可靠性

?使用的主要品牌組件，如真空泵、儀表和質(zhì)量流量控制器（MKS儀器）

?可調(diào)節(jié)的RF功率水平，范圍為1W至200W