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美國Laurell勻膠機(jī)650-8N

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產(chǎn)品介紹

勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜

詳細(xì)介紹:勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater&Spin Processor) 行業(yè)俗稱:勻膠臺、勻膠機(jī)、旋涂儀、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)

一、產(chǎn)品概述:

650型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。

二、勻膠機(jī)工作原理:

勻膠機(jī)(spin coater)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

三、勻膠機(jī)主要性能指標(biāo):

1、腔體尺寸:12.5英寸 (318 毫米);

2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直徑的材料,方片178x178mm,小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤);

3、轉(zhuǎn)動速度:0-12,000rpm,

4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空載);

5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速:穩(wěn)定性能誤差 < ±1%;

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度:<0.2rpm,重復(fù)性< 0.2rpm;

7、工藝時間設(shè)定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;

8、勻膠機(jī)材質(zhì):NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀大方;

9、高精度數(shù)碼控制器:PLC控制,設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%。

10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);

11、分辨率:分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分,可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分,美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證過的,并且無需再校準(zhǔn)!]

12、配套真空泵系統(tǒng):無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;

13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;

14、原裝進(jìn)口水平測試儀;

15、兩袋密封圈;

16、廢液接收單元;

可選配置:

IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計,帶遠(yuǎn)程控制;

OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,帶遠(yuǎn)程控制;

UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,

EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機(jī)械裝置;

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