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等離子體清洗機(jī)對(duì)某些有特殊用途的材料，在超清洗過(guò)程中等離子體清洗機(jī)的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，并可消毒和殺菌。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

設(shè)備型號(hào)：PE-25

1、腔體尺寸：圓柱形腔體，內(nèi)徑5英寸（127mm）x深度8英寸（200mm）；

2、腔體材質(zhì)：T-6鋁合金一體成型；

3、腔體容積：2.57升；

4、射頻電源：13.56MHz；0~100W自動(dòng)調(diào)節(jié)；

5、工作壓力范圍：1-2000 mT；

6、氣體流量控制：0-25cc/min帶精密針閥；

7、皮拉尼真空計(jì)： 0-1Torr；

選配：

1、150W，50KHz；

2、400W，50KHz；

3、150W，13.56 MHz；（自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)）;

4、300W，13.56 MHz；（自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)）;

5、Venus PC控制功能，可以通過(guò)MFC控制氣體；