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BPL光束筆微影納米制造系統(tǒng)

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583

產(chǎn)品介紹

TERA Fab E系列是首臺商業(yè)化光束筆光刻(BPL)納米加工系統(tǒng), 儀器使用多達兩萬支可獨立編程筆陣列, 每支筆尖都有相同尺寸小孔光闌來進行無掩膜光刻; 自定義軟件允許研究人員在0.5x0.4平方厘米區(qū)域內(nèi)快速精確拼接不同圖形, 且特征尺寸分辨率優(yōu)于200納米; 這個工具可以快速地制作電子和光學器件, 制造光刻掩模, 以及光化學研究桌面式操作上手容易, 無需無塵室; 更多應(yīng)用及產(chǎn)品細節(jié)信息TERA中國區(qū)官方授權(quán)商:溢鑫科創(chuàng)。

典型的應(yīng)用包括:

*研究單個細胞

*使用DNA、蛋白質(zhì)、肽或碳水化合物陣列

*微流控或微納電子功能器件的制備

*圖案化水凝膠

*高定域光化學

*合成和發(fā)現(xiàn)用于催化、光子學或治療學應(yīng)用的新納米材料

*其他高密集高分辨的微納米器件制造

產(chǎn)品咨詢

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