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FR-uProbe是涂層表征應(yīng)用的解決方案，要求光斑尺寸小至極小微米，例如微圖案表面，具有不規(guī)則表面的樣品，其表現(xiàn)出高水平的散射光和許多其它。使用FR-uProbe，在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)，反射率，透射率和吸光度測(cè)量只需點(diǎn)擊即可。

白光反射光譜（WLRS）測(cè)量在一定波長(zhǎng)范圍內(nèi)從薄膜或多層疊堆反射的光量，入射光垂直于（垂直于）樣品表面。

通過(guò)來(lái)自界面的干涉產(chǎn)生的測(cè)量的反射光譜用于確定自支撐和支撐（在透明或部分/全反射基板上）薄膜堆疊的厚度，光學(xué)常數(shù)（n和k）等。

應(yīng)用

o大學(xué)和研究實(shí)驗(yàn)室

o半導(dǎo)體（氧化物，氮化物，硅，抗蝕劑等）

o MEMS器件（光刻膠，硅膜等）

o LED

o數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

o陽(yáng)極氧化

o彎曲基板上的硬/軟涂層

o聚合物涂料，粘合劑等

o生物醫(yī)學(xué)（聚對(duì)二甲苯，氣球壁厚等）

特征

o 單擊分析（無(wú)需初始猜測(cè)）

o 動(dòng)態(tài)測(cè)量

o 集成USB攝像頭

o 保存視頻進(jìn)行演示

o 350+不相同的材料

o 3年免費(fèi)軟件更新

o 在Windows 7/8/10上運(yùn)行