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日本ULVAC公司生產(chǎn)的DC電源，除用于AL，Ni等DC磁控濺射外，組合異常放電防止器A2K使用，可脈沖正向電壓

對(duì)SiN，DLC等反應(yīng)性DC濺射工藝.中和其靶材表面電荷.消除滅弧，保證高速成膜.還可以作為偏壓電源使用.

針對(duì)已成型濺射工藝設(shè)備.進(jìn)行加裝及更換均可.實(shí)現(xiàn)低成本的前提下增加產(chǎn)量，保證成品率.

DCS系列，DPG系列的型號(hào)參數(shù):

型號(hào)DCS0052BDCS0202BDCS0402BDPG-10DPG-10HDPG-20DPG-20HDPG-30R

額定功率500W2KW4KW10KW10KW20KW20KW30KW

**輸出電壓800V同左同左同左1000V800V1000V1200V

**輸出電流1.25A5A10A25A16.7A50A33.3A55A

無負(fù)荷電壓-1100V以上〃〃〃〃〃〃〃

輸入電壓95~121V單相190~242V3相AC208V同左同左同左同左AC380V~480V

190~242V單相

使用溫度范圍0~40度同左同左10~40度同左同左同左同左

使用濕度范圍0~90%同左同左0~90%同左同左同左同左

控制器內(nèi)置同左同左同左同左同左同左選項(xiàng).

并聯(lián)**功率獨(dú)立同左同左**12臺(tái)(總功率120~240KW)240KW