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意力博通濺射儀ETD-2000C

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世友創(chuàng)業(yè)（北京）科技有限公司

北京

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產(chǎn)品介紹

ETD-2000C 濺射蒸碳儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，*簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。同時(shí)增加了熱蒸發(fā)附件，具有濺射和蒸發(fā)兩種功能。滿足電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備和非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。特點(diǎn)：

在 ETD-2000/3000 離子濺射儀基礎(chǔ)上，增加了熱蒸發(fā)附件，可以蒸發(fā)碳絲，具有濺射和蒸發(fā)兩種功能。因此擴(kuò)展了應(yīng)用范圍，特別適用于掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室樣品制備。

型號(hào)	ETD-2000c
儀器尺寸	400mm×300mm×400mm（L×W×H）
靶（上部電極）	50mm×0.1mm（D×H）
真空樣品室	硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）
樣品臺(tái)	50mm (D)
操作真空	4×10-1mbar至2×10-2mbar
工作電壓	0-1600V (DC)可調(diào)
濺射電流	0-50mA
濺射定時(shí)	1-9999S
蒸碳電流	0-10A(AC)
真空泵	2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵

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意力博通濺射儀ETD-2000C

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