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意力博通濺射儀ETD-900C

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世友創(chuàng)業(yè)（北京）科技有限公司

北京

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ETD-900C是一款具有濺射和蒸發(fā)兩種功能的鍍膜設(shè)備，由一臺(tái)ETD900型濺射儀和一個(gè)蒸發(fā)電源箱及樣品室蒸發(fā)上蓋組成，由電纜將兩個(gè)機(jī)箱中的控制部件連接起來(lái)，通過(guò)面板上的按鍵狀態(tài)，經(jīng)濺射機(jī)箱中的CPU判別操作項(xiàng)，以確定允許與否（具體操作見(jiàn)說(shuō)明書(shū)）。設(shè)備使用簡(jiǎn)便，性能可靠，蒸發(fā)材料為碳繩，濺射材料為金、鉑等。

型號(hào)	ETD-900c
儀器尺寸	400mm×300mm×400mm（L×W×H）
靶（上部電極）	50mm×0.1mm（D×H）
真空樣品室	硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）
樣品臺(tái)	50mm (D)
工作電壓	0-1200V (DC)可調(diào)
濺射電流	0-50mA
濺射定時(shí)	1-3600S
蒸碳電流	0-50A(AC)
真空泵	2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵

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