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美國SVT Laser MBE

Laser MBE具備PLD和傳統(tǒng)MBE的特性，可對薄膜的生長速率進(jìn)行精確（原子層級別）控制。通過在MBE系統(tǒng)上增加激光燒蝕工藝，系統(tǒng)可以生長包括高熔點(diǎn)陶瓷以及多元素固體材料等。SVT有18年的MBE設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)，我們擅于通過原位的監(jiān)控測量儀器來提高薄膜生長的質(zhì)量。其中原位測量儀器包括：溫度測量、厚度測量、RHEED、束流監(jiān)控等。如果您想了解更多這方面的信息，

應(yīng)用：

可用于研究氧化物半導(dǎo)體， 高溫超導(dǎo)材料，光學(xué)晶體，電光學(xué)薄膜，鐵電以及鐵磁材料等。

標(biāo)準(zhǔn)性能：

• 超高真空（本底壓強(qiáng)<1E-10 Torr）；

• 多種生長模式的源集成，包括：

• RF等離子體

• 蒸發(fā)源

• 電子束蒸發(fā)

• 臭氧傳送系統(tǒng)

• 先進(jìn)的原位監(jiān)控儀（可選）

• 原子吸收束流監(jiān)控儀

• RHEED

• 溫度以及厚度監(jiān)控儀

• 6個可旋轉(zhuǎn)PLD靶

• 高功率準(zhǔn)分子激光器

• 提供合適的泵抽組合

• 多種腔室配置以滿足您的需求

• 培訓(xùn)以及服務(wù)支持