粉體行業(yè)在線展覽
煤炭行業(yè)專用儀器
安全防護(hù)用品
電化學(xué)儀器
儀器專用配件
光學(xué)儀器及設(shè)備
試驗(yàn)機(jī)
X射線儀器
常用器具/玻璃耗材
氣體檢測儀
應(yīng)急/便攜/車載
動(dòng)物實(shí)驗(yàn)儀器
臨床檢驗(yàn)儀器設(shè)備
微生物檢測儀器
芯片系統(tǒng)
泵
分離/萃取設(shè)備
恒溫/加熱/干燥設(shè)備
清洗/消毒設(shè)備
液體處理設(shè)備
制樣/消解設(shè)備
磁學(xué)測量儀器
燃燒測定儀
無損檢測/無損探傷儀器
半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器
紡織行業(yè)專用儀器
金屬與冶金行業(yè)專用儀器
專用設(shè)備
石油專用分析儀器
橡塑行業(yè)專用測試儀
3D打印機(jī)
環(huán)境試驗(yàn)箱
電子測量儀器
工業(yè)在線及過程控制儀器
生物耗材
相關(guān)儀表
波譜儀器
輻射測量儀器
水質(zhì)分析
成像系統(tǒng)
分子生物學(xué)儀器
生物工程設(shè)備
細(xì)胞生物學(xué)儀器
植物生理生態(tài)儀器
純化設(shè)備
合成/反應(yīng)設(shè)備
氣體發(fā)生器/氣體處理
實(shí)驗(yàn)室家具
制冷設(shè)備
測厚儀
測量/計(jì)量儀器
實(shí)驗(yàn)室服務(wù)
其他
包裝行業(yè)專用儀器
建筑工程儀器
鋰電行業(yè)專用測試系統(tǒng)
農(nóng)業(yè)和食品專用儀器
危險(xiǎn)化學(xué)品檢測專用儀器
藥物檢測專用儀器
面議
860
SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能,DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng),我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用,例如故障分析,可靠性測試,IV / CV測試,低目前的測試,微波和射頻表征等等。
使用MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行IV,CV和低電流測試,可提供半導(dǎo)體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項(xiàng)和MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)的靈活性,晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。
特征
手動(dòng)平臺(tái)組裝可提供額外的預(yù)載滑塊,便于裝載和卸載晶圓或樣品。
手動(dòng)控制壓板和卡盤Z位置,進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào)。
光滑的鑄鋼壓板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器。
同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。
標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位
可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。
可用的RF選項(xiàng)包括可定制的RF探頭,RF卡盤和屏蔽罩。
型號 | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圓尺寸 | 高達(dá)150mm | 高達(dá)100mm | 高達(dá)200mm |
XY舞臺(tái)行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm標(biāo)準(zhǔn) | 高達(dá)125mmx125mm | 高達(dá)200mmx200mm |
系統(tǒng)尺寸 | 56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高 | 92米寬x 122厘米深x 92厘米高 | |
系統(tǒng)重量 | 35kg至45kg,具體取決于所選的選項(xiàng) | ~70公斤 |
定制5臺(tái)機(jī)連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動(dòng)拆包機(jī)
酒精回收塔
自動(dòng)吸盤振動(dòng)器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機(jī)控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)