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MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)

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邁可諾技術(shù)有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

860

產(chǎn)品介紹

SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能,DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng),我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用,例如故障分析,可靠性測試,IV / CV測試,低目前的測試,微波和射頻表征等等。

使用MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行IV,CV和低電流測試,可提供半導(dǎo)體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項(xiàng)和MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)的靈活性,晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。

特征

手動(dòng)平臺(tái)組裝可提供額外的預(yù)載滑塊,便于裝載和卸載晶圓或樣品。

手動(dòng)控制壓板和卡盤Z位置,進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào)。

光滑的鑄鋼壓板可容納多達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器。

同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。

標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位

可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。

可用的RF選項(xiàng)包括可定制的RF探頭,RF卡盤和屏蔽罩。

型號

SPS-1000

SPS-2000

SPS-2200

晶圓尺寸

高達(dá)150mm

高達(dá)100mm

高達(dá)200mm

XY舞臺(tái)行程

100mmx100mm150mmx150mm標(biāo)準(zhǔn)

高達(dá)125mmx125mm

高達(dá)200mmx200mm

系統(tǒng)尺寸

56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高

92米寬x 122厘米深x 92厘米高

系統(tǒng)重量

35kg45kg,具體取決于所選的選項(xiàng)

~70公斤

產(chǎn)品咨詢

MicroXact手動(dòng)探針臺(tái)

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