&

Elionix離子束刻蝕系統(tǒng)

直接聯(lián)系

上海納騰儀器有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

1287

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品名稱：離子束刻蝕系統(tǒng)

品牌：Elionix

型號(hào)：EIS-200

關(guān)鍵詞標(biāo)簽：離子束蝕刻，干法蝕刻，離子束轟擊，離子束減薄

簡(jiǎn)短描述：（<40字）：利用ECR技術(shù)產(chǎn)生高能Ar+離子束，Ar+離子束通過電場(chǎng)加速，對(duì)樣品進(jìn)行物理的轟擊達(dá)到刻蝕作用。

一、簡(jiǎn)介

EIS-200是Elionix推出的一款基于電子回旋共振技術(shù)（ECR）的小型離子束蝕刻系統(tǒng)，特別適合于科研用離子束刻蝕、減薄，清洗、鍍膜等。

EIS-200原理：

利用ECR技術(shù)產(chǎn)生高能Ar+離子束，Ar+離子束通過電場(chǎng)加速到達(dá)樣品表面，對(duì)樣品進(jìn)行物理的轟擊達(dá)到刻蝕作用。

EIS-200具有以下優(yōu)點(diǎn)：

?方向性好，各向異性，陡直度高，側(cè)向刻蝕少

?分辨率高

?不受刻蝕材料限制，可對(duì)石英等材料進(jìn)行蝕刻

?可控制蝕刻Taper角

?可以設(shè)定多樣的實(shí)驗(yàn)條件

二、主要功能

l主要應(yīng)用

納米級(jí)圖案刻蝕

高深寬比蝕刻

表面清潔

離子減薄

l技術(shù)能力

離子槍	ECR型離子槍
離子化氣體	Ar、Xe等、惰性離子氣體
離子化氣體	N₂、O₂、CF₄等、活性離子氣體
加速電壓	100V～3000V 連續(xù)可變（高加速電壓可選) (輸出電流20mA MAX)
離子束流密度	Ar:1.5mA/cm²以上 (2kV加速時(shí)）
離子束流密度	O₂:2.0mA/cm²以上 (2kV加速時(shí)）
離子束有效直徑	Φ20mm（FWHM35mm)
離子束穩(wěn)定度	±3％/2H
大樣品尺寸	Φ4英寸

三、應(yīng)用

納米級(jí)圖案刻蝕、高深寬比蝕刻、表面清潔、離子減薄等

?SiO2 on Si substrate

?Diamond Substrate（金剛石）

?Quartz (Mask)

?Oriented PET film

獲取更多信息，請(qǐng)?jiān)L上海納騰儀器有限公司網(wǎng)站

產(chǎn)品咨詢

Elionix離子束刻蝕系統(tǒng)

上海納騰儀器有限公司

請(qǐng)?zhí)顚懩男彰?

請(qǐng)?zhí)顚懩碾娫挘?

請(qǐng)?zhí)顚懩泥]箱：*

請(qǐng)?zhí)顚懩膯挝?公司名稱：*

請(qǐng)?zhí)岢瞿膯栴}：*

您需要的服務(wù)：

詢盤報(bào)價(jià)、價(jià)格查詢

發(fā)送產(chǎn)品資料

與您電話聯(lián)系

發(fā)送

中國粉體網(wǎng)保護(hù)您的隱私權(quán)：請(qǐng)參閱我們的保密政策來了解您數(shù)據(jù)的處理以及您這方面享有的權(quán)利。您繼續(xù)訪問我們的網(wǎng)站，表明您接受我們的使用條款

久久综合久久美利坚中国_中曰韩无码视频_久久97久久97精品免视看_黄网址免费永久在线观看免费