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UP-510 碟形腔式MPCVD設(shè)備

直接聯(lián)系

深圳優(yōu)普萊等離子體技術(shù)有限公司

廣東

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品牌：

優(yōu)普萊

型號(hào)：

UP-510 碟形腔式MPCVD設(shè)備

關(guān)注度：

464

產(chǎn)品介紹

UP-510系列碟形腔式MPCVD設(shè)備設(shè)計(jì)先進(jìn)，性能可靠。硬件配置穩(wěn)定可靠，軟件系統(tǒng)集成度高，易于操作。沉積面積**可達(dá)3英寸，生產(chǎn)效率高，適合于生長(zhǎng)大面積金剛石薄膜，也可用于單晶多晶金剛石的大批量生產(chǎn)。

1.大功率微波系統(tǒng)
微波頻率	2450±25MHz
輸出功率	0.6kw~10kw 連續(xù)可調(diào)
微波泄漏	離設(shè)備 5cm 處，微波泄漏≤ 2 mw/cm2
2.真空系統(tǒng)
工作氣壓范圍	10~300Torr
自動(dòng)穩(wěn)壓范圍	40~250Torr
真空泵	4.4L/s 旋片式真空泵
系統(tǒng)漏率	<1x10-9 Pa*m3 /s (通過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè))
腔體保壓能力	每 24 小時(shí)壓升小于 0.5 Torr
本底極限真空	1Pa
3.真空反應(yīng)腔及基片臺(tái)
反應(yīng)腔材料及結(jié)構(gòu)	碟形不銹鋼反應(yīng)腔
觀察窗口	四個(gè) CF 端口， 90°分布。
測(cè)溫窗口	四個(gè) CF 端口， 90°分布。
自動(dòng)控制上蓋開(kāi)關(guān)
鉬基片臺(tái)直徑	**150mm，建議直徑范圍 60mm ~75mm
樣品臺(tái)可上下移動(dòng)
4.氣路
系統(tǒng)自帶四路 MFC
選用日本進(jìn)口流量計(jì)及流量控制閥
5.測(cè)溫系統(tǒng)
選用德國(guó)品牌紅外測(cè)溫，范圍：300~1300 攝氏度
6.軟件
配置 PLC 控制的 15“觸摸顯示屏，用戶(hù)操作界面友好，所有操作均可在觸摸屏上完成
自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過(guò)溫過(guò)載，打火等自動(dòng)保護(hù)
生產(chǎn)流程通過(guò)工藝配方自動(dòng)控制,可設(shè)置多達(dá)十套工藝配方
系統(tǒng)自帶全自動(dòng)抽氣，點(diǎn)火，升溫，降溫等預(yù)設(shè)流程，用戶(hù)操作簡(jiǎn)便
全自動(dòng)溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量

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UP-510 碟形腔式MPCVD設(shè)備

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