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設(shè)備優(yōu)勢

• 01

  配備高精密直線電機(jī)，高速度 X-Y 運(yùn)動平臺

• 02

  [DFT動態(tài)追蹤補(bǔ)償系統(tǒng)] 配有高精度的晶圓表面高度追蹤及補(bǔ)償系統(tǒng)，保證加工穩(wěn)定性

• 03

  [SLM激光調(diào)制技術(shù)] 配有光斑整型及補(bǔ)償功能，提高激光使用效率和產(chǎn)品切割質(zhì)量

• 04

  操作軟件簡單易用，設(shè)備維護(hù)方便

• 05

  極小的激光濺射(SPLASH<10μm)

• 06

  雙光束(2-Beam)同時(shí)加工作業(yè)，效率高

基本信息

• 1. 適用產(chǎn)品尺寸：8/12inch

• 2. 激光器：紅外激光器 (根據(jù)不同產(chǎn)品搭配不同波長激光器)

• 3. 切割速度: 0-1000mm/s

• 4. 加工方式：全自動

• 5. 整型及補(bǔ)償系統(tǒng)：SLM

• 6. 產(chǎn)品表面追蹤系統(tǒng)：DFT動態(tài)追蹤補(bǔ)償系統(tǒng)