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高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

直接聯(lián)系

鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

鵬城半導(dǎo)體

型號(hào):

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

關(guān)注度:

696

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī))是在高真空條件下,采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法,在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導(dǎo)電薄膜、光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等;可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜;可鍍各種高熔點(diǎn)材料。


可用于生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)及教學(xué),可根據(jù)用戶要求專門(mén)訂制。

可根據(jù)用戶使用要求,選配石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式, 通過(guò)PLC 和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制, 包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能等,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。


設(shè)備特點(diǎn)

設(shè)備具有真空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點(diǎn),配備 E 型電子束蒸發(fā)源和電阻蒸發(fā)源。PID自動(dòng)控溫,具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn)。

可根據(jù)用戶使用要求,選配石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式,通過(guò)PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制,包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能等,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。

真空性能

極限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa

設(shè)備總體漏放率:關(guān)機(jī)12小時(shí),≤10Pa

恢復(fù)工作真空時(shí)間短,大氣至7×10-4Pa≤30分鐘;

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī))設(shè)備構(gòu)成

E 型電子束蒸發(fā)槍、電阻熱蒸發(fā)源組件(可選配)、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測(cè)量系統(tǒng)、分子泵真空機(jī)組或低溫泵真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、樣品傳遞機(jī)構(gòu),膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。

可選件:膜厚監(jiān)控儀,恒溫制冷水箱。


產(chǎn)品咨詢

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