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團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

直接聯(lián)系

鵬城半導體技術(深圳)有限公司

廣東

產品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

鵬城半導體

型號:

團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

關注度:

905

產品介紹

團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備是自主“OLED真空蒸鍍工藝裝備”,是“卡脖子”的35項關鍵技術的第六項。項目技術團隊已完成G1(1代線) 和G2.5(2.5代線)的研發(fā)設計和生產制造。

項目技術團隊已經(jīng)解決了大部分關鍵技術問題(如:源爐技術、精準對位技術(對位精度達到1.5μm)、精密蒸鍍電源技術、原位膜厚測量技術、高真空傳遞機械手、電控系統(tǒng)及自動化控制軟件等)。

公司可對外承接OLED的G1和 G2.5工藝線的設計制造。


技術指標

 指標參數(shù) 
 對位精度 CCD精密對位≤1.5 υm,機械對位≤150 υm
 膜厚均勻性和重復 ±2%
 總體技術路線 采用Cluster方案
 工藝流程 設計-審核-外協(xié)-組裝-電氣安裝-調試-出廠


產品咨詢

團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

團簇式OLED真空蒸鍍工藝裝備

鵬城半導體技術(深圳)有限公司

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