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>感應(yīng)氮化鋁

感應(yīng)氮化鋁

感應(yīng)氮化鋁

直接聯(lián)系

沈陽(yáng)中科漢達(dá)科技有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

中科漢達(dá)

型號(hào):

感應(yīng)氮化鋁

關(guān)注度:

148

產(chǎn)品介紹

感應(yīng)式PVT AlN生長(zhǎng)設(shè)備是自主研發(fā)的感應(yīng)式加熱爐,具有高穩(wěn)定性、高真空度和精確控制系統(tǒng)的AlN晶體生長(zhǎng)系統(tǒng),適用于商業(yè)化批量生長(zhǎng)大尺寸AlN晶體,可實(shí)現(xiàn)AlN晶體的同質(zhì)和異質(zhì)外延生長(zhǎng)。

技術(shù)參數(shù)

生長(zhǎng)工藝

PVT

產(chǎn)品類型

非標(biāo)定制

加熱方式

感應(yīng)加熱(中頻感應(yīng)加熱)

**溫度

2400℃

系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度

≤5Pa

控制方式

PLC集成控制

系統(tǒng)極限真空度

≤8×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)

系統(tǒng)真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環(huán)水路系統(tǒng)

控壓范圍

20-80kpa


產(chǎn)品咨詢

感應(yīng)氮化鋁

感應(yīng)氮化鋁

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感應(yīng)氮化鋁 - 148
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