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上出料管式爐

直接聯(lián)系

沈陽中科漢達科技有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

中科漢達

型號：

上出料管式爐

關(guān)注度：

130

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù)
生長工藝	PVT
生長尺寸	6-8英寸
產(chǎn)品類型	非標(biāo)定制
加熱方式	感應(yīng)加熱（中頻感應(yīng)加熱）
**溫度	2400℃
控制方式	PLC集成控制
系統(tǒng)極限真空度	≤5.5×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)
系統(tǒng)真空檢漏漏率	≤5.0×10-7 Pa.l/S
冷卻方式	循環(huán)水路系統(tǒng)
系統(tǒng)停泵關(guān)機12小時后真空度	≤3Pa

雙層立式石英管水冷結(jié)構(gòu)提供穩(wěn)定的長晶環(huán)境，利于生長高品質(zhì)晶體，上下溫度實時精確監(jiān)控便于工藝調(diào)試，采用上下雙測溫精確監(jiān)控提供更優(yōu)的工藝調(diào)整，碳化硅感應(yīng)式長晶爐適用于生長高純度碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成等

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上出料管式爐

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