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全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)MET-5800
直接聯(lián)系
江蘇晶工半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
江蘇
面議
江蘇晶工
全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)MET-5800
385
產(chǎn)品規(guī)格
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
晶圓尺寸 | 12英寸（Notch） |
晶圓厚度 | 250um-1000um |
工位 | 雙工位 |
晶圓參考面形狀 | R形、雙R形、T型、臺(tái)階狀等 |
設(shè)備尺寸和重量 | L3300×W2200×H2200mm；3000kg |
磨削X/Y/Z軸精度 | X.Y.Z軸精度：±1um |
陶瓷吸盤平面精度：±3um | |
吸盤軸徑向精度：±1um | |
砂輪軸徑向精度：±1um | |
砂輪外徑溝部 | φ200mm |
砂輪外徑 | φ202mm |
砂輪安裝內(nèi)徑 | φ30mm |
砂輪厚度 | 20mm |
砂輪轉(zhuǎn)速 | 4000r/min或8000r/min（根據(jù)客戶要求選擇） |
Notch砂輪轉(zhuǎn)速 | 50000-160000r/min |
校正機(jī)構(gòu) | |
測(cè)量方式 | 非接觸式或機(jī)械測(cè)厚（根據(jù)客戶要求選擇） |
分辨率 | 1μm |
對(duì)中精度 | 20μm |
產(chǎn)品咨詢
全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)MET-5800
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